Micronovassa sijaitsee VTT:n ja Aalto-yliopiston ylläpitämä puhdastila mikroelektroniikan komponenttien valmistusta varten. Espoossa olevat tilat ovat osa OtaNanoa, Suomen kansallista mikro-, nano- ja kvanttiteknologian tutkimusinfrastruktuuria. Yli kaksikymmentä yritystä hyödyntää tämän avoimen puhdastilan tarjoamia mahdollisuuksia päivittäin omaan tutkimus-, kehitys- ja pilotointitoimintaansa. Yhteiskäyttöisyys on kestävä vaihtoehto puolijohteiden valmistukselle. Ympäristöä säästävät toimenpiteet ovat meille tärkeitä, ja siksi olemme keskittyneet puhdastilan ekologisen jalanjäljen pienentämiseen jo yli kymmenen vuoden ajan.
Lyhyesti
Micronovan yhteiskäyttöinen puolijohdepilotointiympäristö tukee eri teknologioiden kehittämistä, mm. MEMS ja MOEMS, suprajohtavat kvanttiteknologian komponentit, RF-komponentit, integroidun fotoniikan komponentit, 2D-materiaalit ja CMOS-kiekolle prosessoidut komponentit, säteilyilmaisimet, ohutkalvokomponentit, integroidut 3D-moduulit, kiekkotason paketointi ja prosessivuon loppupään prosessointi.
Yli 20 asiakasyritystä ja heidän työntekijänsä käyttää 2600 m2 suuruista puhdastilaa päivittäin omiin T&K- ja pilotointitarpeisiinsa.
Mikro-, nano- ja kvanttiteknologian komponenttien kehitystyö aina materiaali-, komponentti- ja prosessi-innovaatioista lähtien, prototyyppien valmistukseen sekä pienimuotoisiin valmistuspalveluihin asti.
Micronovan puhdastila
Ympäristötoimet etusijalla yli vuosikymmenen ajan
Micronovan puhdastilan pinta-ala on 2600 m2, mikä tekee siitä Pohjoismaiden suurimman T&K-puhdastilan. VTT on keskittynyt pienentämään puhdastilan ekologista jalanjälkeä yli kymmenen vuoden ajan. Vuodesta 2013 vuoteen 2022 onnistuimme vähentämään prosessilaitteiden käyttötuntikohtaista energiankulutusta yli 40 prosenttia tehostamalla prosessilaitteiden käyttöä. Seuraamme myös tarkasti veden, energian ja kemikaalien kulutusta ja käyttötehokkuutta sekä tuottamiamme vaarallisia jätteitä koskevia indikaattoreita. Olemme myös lisänneet Mikronovan omaa happojen ja emästen neutralointikapasiteettia vähentääksemme jätehuoltoon toimitettavan vaarallisen jätteen määrää.
Otaniemi – suomalaisen mikroelektroniikkaekosysteemin laajeneva keskittymä
Asiakkaille avoimet puhdastilat tekevät Micronovasta keskeisen solmukohdan Suomen mikroelektroniikkateollisuuden ekosysteemille. Sen sijaan, että yritykset investoisivat erillään omaan infrastruktuuriinsa, ne voivat käyttää Micronovan tiloja omiin T&K-tarpeisiinsa ja saada tätä kautta uutta tehokkuutta toimintoihinsa. Tämä tuo myös yritykset yhteen orgaanisesti ja helpottaa yhteisten hankkeiden ja ponnistelujen suunnittelua.
Micronovan viereen on tulossa myös uusi yrityksille suunnattu teknologiakehityskompleksi puhdastiloineen, Kvanttinova. Kvanttinova-hanketta vetää Espoon kaupunki yhdessä sitoutuneiden yritysten, VTT:n ja Aalto-yliopiston kanssa. VTT tulee toteuttamaan Kvanttinovaan pilottilinjan, joka keskittyy prosessointikyvykkyyksien laajentamiseen ja täydentää siten Micronovan jo ennestään laajaa mikroelektroniikan prosessointikyvykkyyttä. Pilottilinjan fokus tulee olemaan valmistuskyvykkyyden kapasiteetin kasvattaminen.
Kvanttinovan suunnitteluvaiheessa kiinnitetään erityistä huomiota kestävään kehitykseen ja ympäristöön. Uuden laitoksen on täytettävä tulevaisuuden ympäristötavoitteet ja otettava huomioon omien tavoitteiden lisäksi myös käyttäjäyritysten kestävyysvaatimukset. Samalla jatkamme uusien toimenpiteiden etsimistä Micronovan ympäristöjalanjäljen pienentämiseksi.
Puhdastilan oma ylläpito-organisaatio
Micronovan puhdastilaa hoitavat kunnossapidon, prosessitekniikan, laadun ja puhdastilatoimintojen ammattilaiset.
Tutustu asiantuntijoihimme
Puhdastilan ominaisuudet
- Kokonaispinta-ala 2600 m2
- Puhdastilaluokitus ISO 4…ISO 6
- Lämpötila 21 °C ± 0,5 °C
- Suhteellinen kosteus 45 % ± 5
Micronova-puhdastilallamme on ISO 9001:2015-sertifikaatti mikro-, nano-, fotoniikka- ja kvanttiteknologiasovellusten tutkimus- ja kehitystyötä ja pilottivalmistusta, kiekkojen käsittelypalveluita ja laitoksen ylläpitoa varten.
Palvelumme
Tarjoamme uusien materiaalien, teknologioiden, komponenttien, järjestelmien ja prosessien tutkimus- ja kehityspalveluita. Lisäksi voimme tarjota pääsyn puhdastilaamme ja ja prosessointilaitteistoihimme. Saat meiltä ainutlaatuisen mahdollisuuden hankkia saman katon alta koko kehityssyklin perustavaa laatua olevasta tutkimuksesta ja prosessikehityksestä, aina prototyyppeihin ja pienimuotoiseen valmistukseen. Tekemällä yhteistyötä kanssamme hyödyt myös asiantuntemuksestamme liittyen puolijohdeteknologioiden ja puhdastilojen ympäristökysymyksiin.
Palvelumme räätälöidään tarpeidesi mukaan.
- Tutkimus- ja kehityspalvelut
- Sovelluskohtaisten uusien materiaalien mallintaminen, kehittäminen ja valmistus
- Komponenttien ja prosessien suunnittelu ja innovointi
- Prototyyppien valmistus ja pilotointi, pienimuotoiset valmistuspalvelut
- Puhdastilojen käyttömahdollisuus
Maailmanluokan infrastruktuuri T&K-toimintaa ja pienimuotoista valmistusta varten
Micronovassa on myös useita erillisiä laboratorioita, jotka soveltuvat erilaisiin T&K-tarpeisiin, kuten:
- Laboratoriot karakterisointia, järjestelmätason demonstrointia ja avaruusvalmiuksien määrittelyä varten (kuten Millilab, ESAn ulkoinen laboratorio millimetriaaltoteknologioita varten).
- Laboratoriot kvantti- ja kryogeenistä karakterisointia sekä optiikan ja fotoniikan karakterisointia varten.
- Anturilaboratorio, joka on varustettu vastaamaan kaikkiin elektroniikan kehitystarpeisiin.
Micronovan tuotantolaitoksen käsittelyvalmiudet: VTT:llä on yli 200 laitetta puolijohdetehtaassa
Litografia
- i-line stepper, 5:1, 0,35 µm CD
- Kiekkotason kontaktivalotuslaitteet
- Elektronisuihkulitografia
- Litografian laadunvarmistuslaitteet, kuten CD-mittaus ja kohdistustarkkuusmittauslaitteisto
Syövytys
- Plasmasyövytys esimerkiksi seuraaville materiaaleille: Si, SiO2, Si3N4, Al, Mo, TiW, Nb
- HF-höyrysyövytys piidioksidille
- Märkäsyövytys
- XeF2-syövytys
Kalvon kasvatus
- Seitsemän sputterointityökalua erilaisille metalleille ja pietsosähköisille materiaaleille
- Piinitridin, polysilikonin ja piidioksidin LPCVD-kasvatus
- PECVD-kasvatus piinitridille ja piidioksidille
- ALD atomikerroskasvatus: alumiinioksidi ja titaanioksidi
Sähkökemiallinen kasvatus
- Materiaaleina Cu, Ni, Sn-Ag, Sn-Pb, In-Sn, Au
3D-integrointi
- Si/SiO2:n tai kuparin kemiallismekaaninen kiillotus
- Kiekkojen liitosteknologiat paketointia ja erikoissubstraattivalmistusta varten
- Kiekkojen hionta
- Kiekkojen ohennus syövyttämällä
- Ohutkiekkojen käsittelyteknologiat
- Ionisuihkutasoittaminen
Karakterisointi
- Pyyhkäisyelektronimikroskooppi
- Akustinen mikroskooppi
- Optiset kalvojen karakterisointiteknologiat (Spektrometri, ellipsometri)
- Profilometrit
- Atomivoimamikroskooppi
- Kohdistustarkkuuden mittaus
Back-end prosessit
- Kiekkosahaus
- Flip-chip-liitokset
- Lankaliittäminen
Ioni-istutus
- Piin n- tai p-tyypin seostaminen
Sähköinen komponenttitestaus
- Kiekkotason testausjärjestelmät
- Nopeat sähköiset ja optiset testausvalmiudet
Koe puhdastilamme 360°-näkymässä
